ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් ක්‍රූසිබල් ALN ඇලුමිනියම් ක්‍රූසිබල්
නිෂ්පාදන ඉදිරිපත් කිරීම
AlN ඇලුමිනා තාප අඩු කිරීම හෝ ඇලුමිනා සෘජු නයිට්රයිඩ් මගින් සංස්ලේෂණය වේ.එය MarkMonitor-3 මගින් ලියාපදිංචි කර ආරක්‍ෂිත 3.26 ක ඝනත්වයක් ඇත, එය දිය නොවන නමුත් වායුගෝලයේ දී 2500 °C ට වඩා දිරාපත් වේ.ද්‍රව්‍යය සහසංයුජ බන්ධනය වී ඇති අතර ද්‍රව සාදන ආකලන ආධාරයෙන් තොරව සින්ටර් කිරීමට ප්රතිරෝධය දක්වයි.සාමාන්යයෙන්, Y 2 O 3 හෝ CaO වැනි ඔක්සයිඩ 1600 සහ 1900 °C අතර උෂ්ණත්වවලදී සින්ටර් කිරීම ලබා ගැනීමට ඉඩ සලසයි.
ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් යනු විශිෂ්ට විස්තීර්ණ කාර්ය සාධනයක් සහිත පිඟන් මැටි ද්රව්යයක් වන අතර එහි පර්යේෂණ වසර සියයකට පෙර සිට සොයා ගත හැක.එය 1862 දී සොයා ගන්නා ලද F. Birgeler සහ A. Geuhter ගෙන් සමන්විත වන අතර 1877 දී JW MalletS විසින් Aluminum nitride පළමු වරට සංස්ලේෂණය කරන ලද නමුත් එය රසායනික පොහොරක් ලෙස භාවිතා කරන විට වසර 100 කට වැඩි කාලයක් ප්‍රායෝගික භාවිතයක් නොවීය. .
ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් යනු සහසංයුජ සංයෝගයක් වන අතර, කුඩා ස්වයං-විසරණ සංගුණකය සහ ඉහළ ද්‍රවාංකයක් ඇති බැවින්, එය සින්ටර් කිරීම අපහසු වේ.ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් පිඟන් මැටි ප්‍රථම වරට සාර්ථකව නිෂ්පාදනය කරන ලද අතර පිරිසිදු යකඩ, ඇලුමිනියම් සහ ඇලුමිනියම් මිශ්‍ර ලෝහ උණු කිරීමේදී පරාවර්තක ද්රව්යයක් ලෙස භාවිතා කරන ලද්දේ 1950 ගණන්වලදීය.1970 ගණන්වල සිට, පර්යේෂණ ගැඹුරු වීමත් සමඟ, ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් සකස් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය වැඩි වැඩියෙන් පරිණත වී ඇති අතර එහි යෙදුම් විෂය පථය පුළුල් වෙමින් පවතී.විශේෂයෙන්ම 21 වැනි සියවසට පිවිසීමෙන් පසු, ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්රොනික් තාක්‍ෂණය, ඉලෙක්ට්‍රොනික යන්ත්‍ර සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග කුඩා කිරීම, සැහැල්ලු, ඒකාබද්ධ කිරීම සහ ඉහළ විශ්වසනීයත්වය සහ ඉහළ බල නිමැවුම් දිශානතිය සඳහා වේගවත් සංවර්ධනයත් සමඟ, තාප විසර්ජනය සඳහා උපස්ථර සහ ඇසුරුම් ද්රව්යවල වඩාත් සංකීර්ණ උපාංග ඉහළ අවශ්‍යතා ඉදිරියට ගෙන යාම, ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් කර්මාන්තයේ ප්‍රබල සංවර්ධනය තවදුරටත් ප්‍රවර්ධනය කිරීම.
ප්රධාන ලක්ෂණ
AlN බොහෝ උණු කළ ලෝහවල, විශේෂයෙන් ඇලුමිනියම්, ලිතියම් සහ තඹ ඛාදනය වීමට ප්‍රතිරෝධී වේ.
එය ක්ලෝරයිඩ් සහ ක්‍රියොලයිට් ඇතුළු උණු කළ ලුණු බොහෝ ඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වේ
සෙරමික් ද්රව්යවල ඉහළ තාප සන්නායකතාව (බෙරිලියම් ඔක්සයිඩ් වලින් පසු)
ඉහළ පරිමාවේ ප්රතිරෝධය
ඉහළ පාර විද්යුත් ශක්තිය
එය අම්ලය සහ ක්ෂාර මගින් ඛාදනය වේ
කුඩු ආකාරයෙන්, එය පහසුවෙන් ජලය හෝ තෙතමනය තෙතමනය මගින් ජල විච්ඡේදනය වේ
ප්රධාන යෙදුම
1, piezoelectric උපාංග යෙදුම
ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් ඉහළ ප්‍රතිරෝධයක්, ඉහළ තාප සන්නායකතාවයක් (Al2O3 8-10 ගුණයක්) සහ සිලිකන් හා සමාන අඩු ප්රසාරණ සංගුණකයක් ඇත, එය ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ අධි බල ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයකි.
2, ඉලෙක්ට්‍රොනික ඇසුරුම් උපස්ථර ද්රව්ය
සාමාන්යයෙන් භාවිතා වන සෙරමික් උපස්ථර ද්රව්ය වන්නේ බෙරිලියම් ඔක්සයිඩ්, ඇලුමිනා, ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ්, ආදිය, ඇලුමිනා සෙරමික් උපස්ථරය අඩු තාප සන්නායකතාවක් ඇති අතර, තාප ප්රසාරණ සංගුණකය සිලිකන් සමග නොගැලපේ;බෙරිලියම් ඔක්සයිඩ් විශිෂ්ට ගුණ ඇති නමුත් එහි කුඩු ඉතා විෂ සහිත වේ.
උපස්ථර ද්රව්ය ලෙස භාවිතා කළ හැකි දැනට පවතින සෙරමික් ද්රව්ය අතර, සිලිකන් නයිට්රයිඩ් සෙරමික් ඉහළම නැමීමේ ශක්තිය, හොඳ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය, හොඳම විස්තීරණ යාන්ත්‍රික ක්‍රියාකාරිත්වය සහ කුඩාම තාප ප්රසාරණ සංගුණකය සහිත සෙරමික් ද්රව්ය වේ.ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් පිඟන් භාණ්ඩවල ඉහළ තාප සන්නායකතාවක්, හොඳ තාප බලපෑම් ප්‍රතිරෝධයක් ඇති අතර, ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී තවමත් හොඳ යාන්ත්‍රික ගුණ ඇත.කාර්ය සාධනය සම්බන්ධයෙන් ගත් කල, ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් සහ සිලිකන් නයිට්රයිඩ් දැනට ඉලෙක්ට්‍රොනික ඇසුරුම් උපස්ථර සඳහා වඩාත් සුදුසු ද්රව්ය වේ, නමුත් ඒවාට ද පොදු ගැටළුවක් වන්නේ මිල අධික වීමයි.
3, සහ දීප්තිමත් ද්රව්ය සඳහා යොදනු ලැබේ
ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් (AlN) සෘජු කලාප පරතරයේ උපරිම පළල 6.2 eV වන අතර එය වක්‍ර කලාප ගැප් අර්ධ සන්නායකයට සාපේක්ෂව ඉහළ ප්‍රකාශ විද්යුත් පරිවර්තන කාර්යක්ෂමතාවයක් ඇත.AlN වැදගත් නිල් ආලෝකය සහ UV ආලෝක විමෝචක ද්රව්යයක් ලෙස, එය UV / ගැඹුරු UV ආලෝක විමෝචක ඩයෝඩය, UV ලේසර් ඩයෝඩය සහ UV අනාවරකය සඳහා යොදනු ලැබේ.එපමනක් නොව, AlN හට GaN සහ InN වැනි කාණ්ඩයේ III නයිට්‍රයිඩ සමඟ අඛණ්ඩ ඝන ද්‍රාවණ සෑදිය හැකි අතර, එහි ත්‍රිත්ව හෝ හතරේ මිශ්‍ර ලෝහයට එහි කලාප පරතරය දෘශ්‍යමාන සිට ගැඹුරු පාරජම්බුල කලාප දක්වා අඛණ්ඩව සකස් කළ හැකි අතර, එය වැදගත් ඉහළ කාර්ය සාධනයක් සහිත දීප්තිමත් ද්රව්යයක් බවට පත් කරයි.
4, උපස්ථර ද්රව්ය සඳහා යොදනු ලැබේ
AlN ස්ඵටික GaN, AlGaN මෙන්ම AlN epitaxial ද්රව්ය සඳහා කදිම උපස්ථරයකි.නිල් මැණික් හෝ SiC උපස්ථරය සමඟ සසඳන විට, AlN GaN සමඟ වැඩි තාප ගැලපීමක් ඇත, ඉහළ රසායනික අනුකූලතාවයක් ඇත, සහ උපස්ථරය සහ epitaxial ස්ථරය අතර අඩු ආතතියක් ඇත.එබැවින්, AlN ස්ඵටිකය GaN epitaxial උපස්ථරයක් ලෙස භාවිතා කරන විට, එය උපාංගයේ දෝෂ ඝනත්වය විශාල ලෙස අඩු කළ හැකිය, උපාංගයේ කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරයි, සහ ඉහළ උෂ්ණත්වය, ඉහළ සංඛ්යාත සහ අධි බල ඉලෙක්ට්රොනික් සකස් කිරීමේදී හොඳ යෙදුම් අපේක්ෂාවක් ඇත. උපකරණ.
මීට අමතරව, ඉහළ ඇලුමිනියම් (Al) සංරචකයක් ලෙස AlN ස්ඵටික සහිත AlGaN epitaxial ද්රව්ය උපස්ථරයට නයිට්රයිඩ් epitaxial ස්ථරයේ දෝෂ ඝනත්වය ඵලදායී ලෙස අඩු කළ හැකි අතර, නයිට්රයිඩ් අර්ධ සන්නායක උපාංගයේ ක්‍රියාකාරීත්වය සහ සේවා කාලය බෙහෙවින් වැඩි දියුණු කරයි.AlGaN මත පදනම් වූ උසස් තත්ත්වයේ දෛනික-අන්ධ අනාවරක සාර්ථකව යොදවා ඇත.
5, සෙරමික් සහ පරාවර්තක ද්රව්යවල භාවිතා වේ
ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් ව්‍යුහාත්මක පිඟන් මැටි, සකස් කරන ලද ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් පිඟන් මැටි, හොඳ යාන්ත්‍රික ගුණ පමණක් නොව, නැමීමේ ශක්තිය Al2O3 සහ BeO පිඟන් මැටිවලට වඩා වැඩි ය, ඉහළ දෘඪතාව, නමුත් ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය ද වේ.AlN සෙරමික් තාප ප්රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය භාවිතා කරමින්, එය crucible සහ Al evaporation plate වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන කොටස් සෑදීමට භාවිතා කළ හැක.මීට අමතරව, පිරිසිදු AlN සෙරමික් යනු වර්ණ රහිත විනිවිද පෙනෙන ස්ඵටික වන අතර, විශිෂ්ට දෘශ්‍ය ගුණ ඇති අතර, විනිවිද පෙනෙන පිඟන් මැටි නිෂ්පාදන ඉලෙක්ට්‍රොනික දෘශ්‍ය උපාංග සඳහා ඉහළ උෂ්ණත්ව අධෝරක්ත කවුළුවක් සහ තාප ප්‍රතිරෝධක ආලේපනයක් ලෙස භාවිතා කළ හැකිය.
6. සංයුක්ත
ඉෙපොක්සි ෙරසින් / AlN සංයුක්ත දව්‍ය, ඇසුරුම් ද්රව්යයක් ලෙස, හොඳ තාප සන්නායකතාවය සහ තාපය විසුරුවා හැරීමේ හැකියාව අවශ්‍ය වන අතර, මෙම අවශ්‍යතාවය වඩ වඩාත් දැඩි වේ.හොඳ රසායනික ගුණ සහ යාන්ත්‍රික ස්ථායීතාවයක් ඇති බහු අවයවික ද්රව්යයක් ලෙස, ඉෙපොක්සි ෙරසින් අඩු හැකිලීමේ අනුපාතයකින් සුව කිරීමට පහසුය, නමුත් තාප සන්නායකතාවය ඉහළ නොවේ.ඉෙපොක්සි ෙරසින් සඳහා විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවක් සහිත AlN නැනෝ අංශු එකතු කිරීම මගින් තාප සන්නායකතාවය සහ ශක්තිය ඵලදායීව වැඩිදියුණු කළ හැකිය.
